L’Advanced MUlti-beam Experiment for Plasma Surface Interactions est le dispositif ultra-vide le plus récent de l’équipe Plasma-Surface.
3 faisceaux de particules simulent la complexité du plasma. Un jet moléculaire fournit des espèces neutres avec une énergie cinétique réglable. Un faisceau d’atomes d’hydrogène procure des radicaux réactifs. Un faisceau d’ions permet d’implanter sous la surface des matériaux.
Les méthodes de la science des surfaces permettent de préparer des échantillons en contrôlant leur composition de surface (AES) et leur structure (LEED). Un double chauffage résistif et laser permet de réaliser une désorption programmée en température avec vitesse de chauffage réglable (de 1 K/s à 100 K/s), même pour des métaux réfractaires (tungstène).
MB: supersonic Molecular Beam
HAS: Hydrogen Atomic Source
high IB: high flux Ion Beam
AI-TPD: Angle-Integrated Temperature Programmed Desorption
AR-TPD: Angle-Resolved Temperature Programmed Desorption
TOF: Time Of Flight
LEED: Low Energy Electron Diffraction
AES: Auger Electron Spectroscopy
LN2 4-axis SM: Liquid Nitrogen cooled 4-axis Sample Manipulator
Optical ports: for in situ reflectivity measurement and Laser Induced Desorption
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