Un séminaire animé par
Dr. Anne Lafosse, Professeur à l’Université Paris-Saclay, laboratoire ISMO, Saclay (France)
intitulé :
Quantififier l’incontournable contribution des interactions électrons-films moléculaires supportés – Nanolitographie et astrophysique
aura lieu Mardi, 30 mai à 14h30 dans la salle du Conseil – service 322 du laboratoire PIIM (Campus St. Jerome)
Résumé : Qu’ont en commun l’enrichissement chimique du milieu interstellaire et les processus de nanolithographie ? Les processus induits par les électrons au sein des films moléculaires déposés, respectivement, sur les grains de poussière interstellaires et sur les substrats à fonctionnaliser.
L’interaction de rayonnements énergétiques (RX, ions, électrons) avec un milieu condensé mène à la formation de bouffées d’électrons secondaires de basse énergie (<20 eV). Ces électrons créés au cœur du milieu irradié participent efficacement à sa modification chimique. Dans l’ensemble des contextes d’applications (astrochimie, dommages radiatifs, nanolithographie), un des enjeux important est de quantifier l’efficacité des processus induits, en termes de rendements, mais également de sections efficaces effectives et de doses requises.
L’approche proposée par le groupe “électrons-solides” est d’étudier directement les effets de l’irradiation électronique sur des interfaces déposées sur substrat en combinant : (i) l’analyse en masse quantitative des neutres désorbant pendant l’irradiation (ESD) et (ii) l’analyse des dépôts avant et après irradiation par analyse programmée en température (TPD) et par spectroscopie vibrationnelle HREELS (High Resolution Electron Energy Loss Spectroscopy).
Deux systèmes seront discutés, en termes de marqueurs quantitatifs extraits :
– la décomposition sous irradiation électronique d’un film d’un composé insaturé halogéné potentiellement intéressant pour le développement de résines lithographiques EUV,
– la désorption non-thermique issue de glaces moléculaires de méthanol CH3OH, avec une interprétation en lien avec les processus d’XESD (X-ray induced electron-stimulated desorption).
Bio : Anne Lafosse est professeure à l’Université Paris-Saclay, laboratoire ISMO. Elle est la cheffe d’équipe de Surface chemistry & slow electrons.
