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PHISIS (PS)

publié le , mis à jour le

PHISIS
PHISIS

Le dispositif expérimental PHISIS est dédié à l’étude des interactions plasma-surface.

Il est constitué d’un réacteur plasma comportant une chambre source cylindrique et une chambre de diffusion sphérique. L’antenne entourant la chambre source est de type « antenne hélicon » et permet de générer des plasmas en mode capacitif, inductif ou hélicon. Cette antenne est reliée à une boit d’accord et un générateur RF 13.56 MHz.

Le réacteur est équipé d’un porte échantillon chauffant (jusqu’à 750°C) et polarisable, d’un sas d’introduction rapide et de cinq lignes de gaz (H2, D2, O2, He, Ar). Il est en outre muni de diagnostics du plasma tels que la sonde de Langmuir (Smartprobe), la spectroscopie optique d’émission ou la spectrométrie de masse avec analyse en énergie (Hiden EQP 300). Des analyses de surface externes sont disponibles dans l’équipe ou au laboratoire (AFM, Raman, FTIR, MEB,…).

Les plasmas de laboratoire comme ceux réalisés dans ce dispositif permettent d’étudier dans des conditions maîtrisées l’interaction plasma – surface. Les outils de diagnostic sont nombreux et sont employés pour caractériser l’érosion des matériaux en plasma, la création d’ions négatifs en surface, l’émission secondaire d’électrons, l’implantation d’ions… Les applications vont de la fusion thermonucléaire jusqu’à la microélectronique.