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Camiter (PS)

publié le , mis à jour le

Camiter

Camiter est un dispositif expérimental composé de 3 enceintes ultra-vide interconnectées.

La première enceinte est équipée d’un dispositif de désorption programmée en température (300K-1300K), d’un sas d’introduction rapide d’échantillons, et de dispositifs d’irradiation des échantillons (source atomique, canons à ions...)

La deuxième enceinte constitue une chambre plasma RF équipée d’un porte substrat 4’’ polarisable et contrôlé en température (20-800°C) avec un sas d’introduction rapide. Cette enceinte permet des diagnostics du plasma par sonde de Langmuir et Fluorescence Induite par Laser notamment.

Une troisième enceinte permet des interconnections vers d’autres dispositifs d’analyse.